Système de lithographie par faisceau d’électrons à ultra-haute résolution
Titre officiel en allemand: Ultra-high Resolution Electron-beam Lithography System
L’ETH Zürich achète un système automatisé de lithographie par faisceau d’électrons pour la recherche du BRNC, des structures nanométriques à l’exposition rapide de motifs complexes sur de grandes surfaces.
- Prestations
- Fournir, installer, faire accepter un système et former les utilisateurs; traiter des wafers jusqu’à 200 mm.
- Contrat
- Le prix inclut transport, installation, formation et 2 ans de garantie; coûts du cycle de vie évalués sur 15 ans en CHF.
- Aptitude
- Justifier 2 installations comparables durant les 4 dernières années, le chiffre d’affaires sur 3 ans et un système et lieu d’essai.
- Adjudication
- La valeur technique vaut 1000 points et les coûts du cycle de vie 400, sur un total de 1750.
- Points d’attention
- Les prix doivent baisser en cas de recul du marché avant réception finale; les avances supérieures à CHF 50'000 exigent une garantie équivalente.
Documents pour votre offre
- Annex 1_Conditions_of_participation.zipDocuments d’appel d’offres · 570 KB
- Annex 2_Requirements_Price Sheet_Goods.xlsxDocuments d’appel d’offres · 29 KB
- Specification_E-beam_lithography_BRNC.pdfDocuments d’appel d’offres · 519 KB
Dates clés
- 01.10.2026Publication sur simap.ch
- 21.10.2026Session de questions
- 10.11.2026, 23h58Délai de remise des offresdélai dans 14 jours
L’analyse complète de cet appel d’offres
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Texte de la publication
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Reproduction non officielle. Le texte en allemand ci-dessous est extrait sans modification de la publication SIMAP n° 45007. Seule la publication officielle fait foi.
The B & R Nanotechnology Center (BRNC) at ETH Zurich invites tenders for the purchase of one (1) ultra-high resolution electron-beam lithography (EBL) system. The system will be used for a variety of research activities of internal and external users, ranging from the generation of high-precision structures at the nanometer level to the rapid exposure of complex structures over large areas. The scope includes delivery, installation, training and acceptance of the system.