Ultra-high Resolution Electron-beam Lithography System
Die ETH Zürich beschafft ein automatisiertes Elektronenstrahl-Lithografiesystem für die BRNC-Forschung, von Nanometerstrukturen bis zur schnellen Belichtung komplexer Muster auf grossen Flächen.
- Leistungen
- Ein System liefern, installieren, Nutzer schulen und abnehmen lassen; Wafer bis 200 mm verarbeiten.
- Vertrag
- Der Preis umfasst Transport, Installation, Schulung und 2 Jahre Garantie; Lebenszykluskosten über 15 Jahre in CHF.
- Eignung
- 2 vergleichbare Installationen der letzten 4 Jahre, Umsatzangaben für 3 Jahre sowie Testsystem und -standort nachweisen.
- Zuschlag
- Der technische Wert zählt 1000 Punkte, die Lebenszykluskosten 400 von insgesamt 1750 Punkten.
- Zu beachten
- Preise sind bei Marktsenkungen bis zur Endabnahme anzupassen; Vorauszahlungen über CHF 50'000 erfordern eine gleich hohe Sicherheit.
Unterlagen für Ihre Offerte
- Annex 1_Conditions_of_participation.zipAusschreibungsunterlagen · 570 KB
- Annex 2_Requirements_Price Sheet_Goods.xlsxAusschreibungsunterlagen · 29 KB
- Specification_E-beam_lithography_BRNC.pdfAusschreibungsunterlagen · 519 KB
Wichtige Termine
- 01.10.2026Publikation auf simap.ch
- 21.10.2026Fragerunde
- 10.11.2026, 23:58 UhrEingabefristFrist in 14 Tagen
Die vollständige Ausschreibungsanalyse
Detaillierter Leistungsumfang
Strukturierter Überblick über Leistungen, Anforderungen und Fristen.
Prüfung des Auftraggebers
Kontext zur Beschaffung und zu den veröffentlichten Angaben.
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Text der Publikation
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Nicht offizielle Wiedergabe. Der folgende Text auf Deutsch stammt unverändert aus der SIMAP-Publikation Nr. 45007. Ausschliesslich die offizielle Publikation ist massgebend.
The B & R Nanotechnology Center (BRNC) at ETH Zurich invites tenders for the purchase of one (1) ultra-high resolution electron-beam lithography (EBL) system. The system will be used for a variety of research activities of internal and external users, ranging from the generation of high-precision structures at the nanometer level to the rapid exposure of complex structures over large areas. The scope includes delivery, installation, training and acceptance of the system.